首先使用酸進行清洗的方法,用酸清洗能夠非常方便的清洗掉碳化硅當中的雜質,它的操作方法也是非常簡單的,就是在加熱的條件才,用硫酸對碳化硅進行適當的處理,這樣硫酸就會與碳化硅中的鐵進行反應,從而去除掉其中的雜質,同時氧化鐵、鋁等雜質也會與硫酸進行反應,從而能夠很好的進行清除。
還有就是用堿進行清洗的方法來去除,碳化硅的堿洗方法也是比較簡單的,它跟酸洗的方法也是十分類似,就是在加熱的條件下用氫氧化鈉對碳化硅進行處理,主要目的是除掉外表的游離硅,二氧化硅等,這么能夠進步碳化硅的含量,從而使碳化硅的含量提升。